随着外壳的结构变得越来越复杂，射频等离子体清洁用橡胶擦拭外壳的狭窄部分变得不可能。使用橡胶擦拭物可能会带来额外的风险。镀镍外壳表面的氧化层可以通过使用氩气或氢气作为清洁气体的射频等离子体清洁来充分去除。由于清洗室内的等离子体分布比较均匀，可以清洗复杂结构和狭窄区域。从下图可以看出，经过射频等离子清洗
