.化学纯度和腐蚀的各向异性。缺点是对表面损伤大，改性沥青卷材表面处理工艺热效应大，对被清洗表面的各种物质选择性低，腐蚀速度慢。基于化学反应的等离子清洗的优点是清洗速度快、选择性高、去除有机污染物更有效。缺点是在表面形成氧化物。克服化学反应的缺点并不像物理反应那么容易。此外，两种反应机制对表面微观形态
