等离子体产生的氧自由基非常活跃，亲水性气象纳米二氧化硅很容易与碳氢化合物反应形成二氧化 碳。碳、一氧化碳和水等挥发物可去除表面的污染物。。等离子清洗剂主要按反应类型和激发频率分类。反应类型分类等离子体与固体表面之间的反应可分为物理反应（离子冲击）和化学反应。物理反应机理是活性粒子与被清洗表面碰撞。这
