等离子体是由电子、正离子和中性粒子（包括所有不带电粒子，载玻片等离子表面清洗机器如原子、分子和原子团等）组成的电离气体，对外是电中性的。等离子体被称为除固体、液体和气体之外的第四种物质状态。低温等离子体处理主要有四种形式。1.表面蚀刻在等离子体作用下，材料表面的一些化学键断裂，形成小分子产物或被氧化
