广东芳如达科技有限公司 2022-12-17 16:37:17 99 阅读
随着半导体规模接近其物理极限,特种附着力促进剂价格范围新材料、新器件结构和新工艺不断被引入集成电路制造工艺中,以延续摩尔定律并使器件尺寸更小 包括高介电常数材料、锗硅载流子传输增强材料、金属栅极材料、SICONITM预清洗工艺、分子束外延生长工艺等,PLASMA清洗机气体材料的种类和数量也在相应变化。获得。一般来说,PLASMA清洗气体材料根据数量、制造工艺难度和安全性分为两类,通用气体和特种气体。
1 .等离子清洗机清洗效果好,特种附着力促进剂价格范围清洗效率高,功率大,应用范围广。2清洗样品,无材质、外观和尺寸要求。3在等离子体清洗过程中,温升很小,基本可以达到室温处理。高效的特种电极,是等离子体均匀的保证。5特殊的电极和托盘结构,确保样品能得到充分有效的清洗。
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真空环境式等离子清洗机没有那么复杂,附着力促进剂656按工频40KHz和13.56mhz为例:正常情况下,原料放入腔内进行操作,频率为40KHz,一般环境温度为65℃;此外,机器配备了较强的空气冷却器。如果加工时间不长,原料的表面温度会与室温一致。
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1.控制单元国内真空等离子表面处理机,包括从国外进口的,控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC机控制、LCD触摸屏控制四种方式。控制单元分为两大部分:1)电源:主要有三种电源频率,分别为40kHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz需要电源匹配器。2)系统控制单元:分为三种,按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。
等离子体的“活性”成分包括:离子、电子、活基、激发态(亚稳态)和光子等。等离子清洗机就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理,从而达到清洗等目的。等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、活化和表面处理等,为适应不同的清洗效率和清洗效果,可选用40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器。
气体浮子流量计是通过手动调整开启阀门的大小来实现气体流量控制,阀门开启后会受气体压力变化、震动等多因素影响而造成实际通入气体流量浮动范围大,不适用于对工艺气体流量要求严格的等离子清洗机。 质量控制器一般都是自动对工艺气体的质量流量进行精密测量和控制,保证等真空离子清洗机处理工艺的稳定;对于部分腐蚀性气体或其他特殊气体也可以实现准确的控制。
目前,制造可在高压(≤1.01×10 Pa)和低压(≤1.33Pa)下工作的新型电弧等离子炬和三相大功率电弧等离子炬的条件基本成熟。等离子射流的温度范围约为 3700 至 25000 开尔文(取决于工作气体类型和功率等因素),射流速度范围为 1 至 10 m/s。高频感应等离子发生器也称为高频等离子炬或高频等离子炬。无极电感耦合用于将高频电源的能量输入到连续气流中进行高频放电。
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发布日期:2022-12-17 16:37:17