混合气体在高频和低频下被激发，纳米粒子的表面改性技术产生各种特定的粒子，包括阳离子、激发态分子式、自由基等。采用有机化学或物理对产品和工件表面进行处理，分子级空气污染源清洁（一般为3-31纳米厚），提高产品表面特异性。与不同的空气污染源相比，等离子清洗机需要使用不同的清洗制造工艺。等离子清洗可分
