广东芳如达科技有限公司 2022-12-26 15:15:19 133 阅读
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等离子清洗机(Plasma Cleaner)又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合。
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等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
& EMSP; & EMSP; 其中一种加工方法是使用比较老式的等离子炉,上面产生的等离子弧直接作用在下面的工件上熔化并引起化学反应。 & EMSP; & EMSP; 在其他处理方法中,气体(如 AR 或 H2)通过喷嘴注入,在两个电极之间产生热等离子体。中间的固体原料用高温等离子体熔化,沿滴管形成液膜反应,最后倒入下部容器中。
在这种情况下,等离子体处理将产生以下影响:等离子体蚀刻处理在等离子体仪表处理器的蚀刻过程中,通过处理气体(例如,当用氟气体蚀刻硅时,下图),被蚀刻的对象被转换为气相。经处理的气体和基材由真空泵抽提,表面连续覆盖经处理的新鲜气体。不希望被蚀刻的部件被材料覆盖(如半导体行业中的铬)。等离子体法也被用来蚀刻塑料表面,混合物中可以填充氧气以获得分布分析。
等离子体的方向性不强,这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务,因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果像是甚至更好;五、使用等离子清洗,可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成,因此具有产率高的特点;六、等离子清洗需要控制的真空度约为 Pa,这种清洗条件很容易达到。
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