离子的能量分布和入射角分布是可以改变的。低压是等离子体的发展方向之一。在较低的压力下，减少附着力助剂离子轰击晶圆前的碰撞会减少，进而减少散射碰撞，可以优化离子入射角度，获得更精确的刻蚀结果。4.远程等离子刻蚀机：等离子体的主要成分包括工会化气体分子、带电离子、电子和各种自由基。在与图案转移相关的传统
