电压升高、电源频率增大,则处理强度大,处理作用好。但电源频率过高或电极间隙太宽,会引起电极间过多的离子磕碰,构成不必要的能量损耗;而电极间距太小,会有感应损失,也有能量损耗。处理温度较高时,表面特性的变化较快、处理时刻延长,极性基团会增多;但时刻过长,表面则可能产生分化物,构成新的弱界面层。2.辉光