5.适用性广：等离子体表面处理工艺可以处理大多数固体物质，高附着力法则因此可用于广泛的领域（3）等离子体表面处理技术展望随着电子信息产业的发展，特别是通信产品、计算机及元器件、半导体、液晶和光电子产品等所需的超精密工业清洗设备和高附加值设备的比重逐步提高，等离子体表面处理设备已成为众多电子信息产业的
