等离子去胶的优点是去胶操作简单、去胶效率高、表面干净光洁、无划痕、成本低、环保。 电介质等离子体刻蚀设备一般使用电容耦合等离子体平行板反应器。在平行电极反应器中，高附着力单官单体反应离子刻蚀腔体采用了阴极面积小，阳极面积大的不对称设计，被刻蚀物是被置于面积较小的电极上。通电时间比常规太阳能电池长20
