但从整个行业的发展趋势来看,聚磷腈改性黑磷表面在线低温等离子处理器是一个大趋势。但是,在线低温等离子处理器可与自动化生产线连接,自动离线等离子清洗机需人工装卸。。集成电路中二维材料的等离子体刻蚀液;近年来,许多类似石墨烯的二维材料被发现和研究,因其超高迁移率而受到广泛关注,如硫化钼、黑磷、硅烯、硒化