等离子清洗是一种无溶剂干式微清洗,非极性溶剂达因值高还是低在去除ODS(臭氧消耗物质)和挥发性有机化合物(volatile organic Compound)清洗剂中起着重要作用。该工艺比溶剂清洗更简单,而且由于其成本低、环保、节能等特点,还可以作为溶剂型深度清洗的重要补充。等离子清洗可应用于各种基