以硅片面板为例，山西等离子清洗机厂家试验表明，采用常规硅基太阳能制备工艺生产的多晶硅，未经低温等离子处理。硅太阳能电池的光电转换效率在17%左右，很难突破。用低温等离子体装置对电池表面进行处理后发现，处理后多晶硅太阳能电池的峰值功率和光电转换效率平均提高了5%左右。由此推测，低温等离子体处理多晶硅电
