具体清洗工艺流程为:研磨-吹气-氧气等离子清洗-消除静电。因此采用此工艺时需要增加一个除静电装置。经过这样清洗的电极端子和显示器的偏光板粘接的成品率得到提高,静电喷塑涂层附着力要求而且电极端与电膜间的黏附性能也大大提高。其他经过机械加工的电子元器件当表面污垢主要是油污时,采用氧气等离子清洗加以去除也