低温等离子体的应用领域冷等离子体的物理和技术发生了重大转变,等离子体清洁剂有哪些从 1960 年代初期的空间等离子体研究到 1980 年代和 1990 年代的面向材料的研究。微电子科学、环境科学、能源、材料科学等为低温等离子体科学的发展带来了新的机遇和挑战。如今,低温等离子体的物理与应用已成为具有全