等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、激发（亚稳态）核素、光子等。等离子清洗剂利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，陕西真空等离子处理机品牌达到清洗、改性、光刻胶灰化等目的。等离子清洗的好处：满足无损伤、无腐蚀控制的新工艺要求。等离子清洗的原理不同于超声波，是在机舱接近真空状态时开启高
