气体的特性不同，元素反应和元素附着力的关系它们用来清洁污染物也必须有不同的选择。当一种气体渗透到一种或多种额外的气体，这些元素的组合产生所需的蚀刻和清洁效果。在等离子体等离子体离子或高活性原子的帮助下，表面污染物会被撞掉或形成挥发性气体，然后被真空系统带走，达到清洁的表面目的。等离子体形成过程中，氧
