在这个过程中，附着力检测仪等离子体还释放出高能紫外光，它与产生的快离子和电子一起，提供了打破聚合物键并在表面产生化学反应所需的能量。在这个化学过程中，材料表面只有部分原子层保持不变，避免了由于等离子体温度较低而产生热损伤和变形的可能性。选择合适的反应气体和工艺参数可以促进特定的反应形成特殊的聚合物附
