在平行表面电极反应器中，附着力报告模板反应离子腐蚀室采用非对称设计，阴极面积小，阳极面积大，腐蚀材料小面积放置在电极上。在高频电源产生的热运动的作用下，带负电的自由电子由于质量小，运动速度快而很快到达阴极，而共价键质量大，同时到达阴极。达到。由于它的质量和低速度，在阴极附近会产生一个带负电的 A 鞘
