当电流增加直至整个阴极表面被辉光覆盖时，铝二次阳极氧化的附着力阴极电位降随着电流强度和电流密度的增加而增加，此时发生异常辉光放电。从等离子清洗机的亮区分布来看，可以分为两部分：第一是放电的阴极部分，暗区是阿斯顿，亮区是阴极，阴极暗区，负发光区，法拉第暗区。第二部分称为阳极部分，包括正极柱区、阳极暗
