等离子体清洗机在光致抗蚀剂去除中的详细应用；等离子清洗剂的应用包括预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥离、晶圆凸点、静电消除、介电蚀刻、有机污染去除、晶圆减压等，静电喷涂粉附着力使用等离子清洗机，不仅能彻底去除光刻胶等有机物，还能活化增厚晶圆表面，提高晶圆表面的润湿性，使晶圆表面更具黏附性。这取决于离子和
