在超低温蚀刻过程中，江西附着力强涂料厂家联系电话将硅晶片或图案化的硅衬底冷却到大约 - °C 并使用 SF6 / O2 等离子体进行蚀刻。一些无机副产物，包括 SIOXFY，仍然被吸附，在图案的侧壁上形成保护层。当反应物加热到室温时，这些副产物在离子冲击的条件下解吸。因此等离子表面处理机的蚀刻完成后
