氩气氩气是惰性气体，晋中片材电晕处理机批发电离离子不会与衬底发生化学反应。在电晕清洗中，氩主要用于衬底表面的物理清洗和粗化，其很大特点是在表面清洗中不会形成精细电子器件的表面氧化。正因如此，氩电晕被广泛应用于半导体、微电子、晶圆制造等职业。真空电晕中氩离子化产生的电晕呈暗红色。在相同放电环境下，氢和
