（2）物理反应（物理反应）它主要是利用等离子体中的离子进行纯物理冲击，附着力和细度敲除材料表面的原子或附着在材料表面的原子，因为压力较低时离子的平均自由基较轻较长，而且它们已经积累了能量，物理冲击中离子的能量越高，冲击越大。因此，如果以物理反应为主，需要控制较高的压力才能反应，这样清洗效果更好。为了
