氩气和氦气性质稳定,氧化附着力皮革粘合剂并且放电电压低(氩原子的电离能E为15.57 eV)易形成亚稳态的原子,一方面等离子表面处理机利用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或还原的物件,Ar+轰击污物形成挥发性污物被真空泵抽走,避免了表面材料发生反应;另一方面利用氩气易形成亚稳态的原子,再与氧气氢气分