射频等离子清洗设备的结构如图所示4.其结构主要由六个部分组成:反应室、电控系统、送风系统、射频电源、真空系统、操作控制系统。清洗过程如图5所示。4清洗效果比较。等离子体清洗需求等离子体清洗设备在半导体清洗领域是半导体产业链的重要组成部分，怎么提高尼龙附着力对原材料和半成品在每个步骤中可能存在的杂质进
