1、等离子体在电子工业中的应用： 大规模集成电路片心的生产工艺，油漆附着力和防锈过去采用化学方式，采用等离子体办法替代之后，不只降低了工艺过程中的温度，还因将涂胶、显影、刻蚀、除胶等化学湿法改为等离子体干法，使工艺更简单，便于完成自动化，进步成品率。等离子体办法加工的片心分辨率及保真度都高，对进步
