Te和Ti在实际情况中通常是不同的。当在接近大气压的高压下放电时，多羟基表面提高亲水性电子、离子和中性粒子通过强烈的碰撞充分交换动能，使等离子体达到热平衡状态，电子和离子的温度相似，属于低温等离子体中的热等离子体。等离子清洗机在真空低压环境下产生的等离子体往往处于非热平衡状态，电子温度远高于离子温度
