各种刻蚀气体最初都单独存放在气源瓶内，漆膜附着力注意事项纯度达到99.9%以上,经由控制系统输送到混合单元，再送到刻蚀腔内，产生等离子体。(2)气体输送管道。气体输送管道包括两部分。一是刻蚀气体的从气源瓶往刻蚀腔的输送，另外一部分是刻蚀产生的挥发性气体的排空线。(3)气体控制系统。控制系统包括阀门、
