电晕刻蚀是一种各向异性刻蚀工艺，东莞平板电晕处理可以保证刻蚀图形的准确性、对特定材料的选择性和刻蚀效果的均匀性。在电晕刻蚀中，基于电晕作用的物理刻蚀和基于活性的刻蚀同时发生基团作用化学蚀刻。电晕蚀刻从相对简单的平板二极管技术起步，发展到价值数百万美元的组合腔室，配备多频发生器、静电卡盘、外墙温度控制
