但由于清洗剂的引入，散热盖表面改性硅胶清洗剂的引入还会带来其他相关问题，因此探索新的清洗方式成为各厂家努力的方向。通过分步实验，利用低温等离子体设备的等离子体电源清洗ITO玻璃表面是一种有效的方法。等离子体是带正负电荷的离子和电子的集合体，也可能有一些中性原子和分子，宏观上一般是电中性的。等离子体可
