氩气本身是惰性气体，氧等离子键合等离子氩气不与表面反应，但会通过离子冲击清洁表面。典型的等离子化学清洗工艺是氧等离子清洗。等离子体产生的氧自由基具有很强的反应性，很容易与碳氢化合物反应生成二氧化碳、一氧化碳和水等挥发物，从而去除表面污染物。... 2.2 激励频率的分类等离子体态的密度与激发频率之间
