同时，摄像头模组活化机氧化层也对键合质量产生不利影响，需要等离子清洗。四氟化碳在等离子清洗机中的应用及注意事项 四氟化碳在等离子清洗机中的应用及注意事项：等离子清洗机的基本功能主要是清洗、活化、接枝（清洗、活化、接枝（包括沉积）和蚀刻。除了所需的放电方式和电极结构外，工艺技术气体的选择也很重要，特别
