这三种激励频率的作用机理是不同的。40kHz产生的响应是物理响应，铝合金发黑处理工艺13.56MHz产生的响应既有物理响应又有化学响应，20MHz产生的响应虽然有物理响应但更重要的是化学响应。需要用13.56MHz或20MHz等离子体清洗数据进行激活和修改。型腔原材料的选择常见的型腔原材料有：石英型
