因此，怎么才能提供附着力对等离子体过程的诊断有助于获得等离子体放电的微观机制，建立等离子体工艺参数和等离子体参与反应的结果关联，寻找两者之间的内在信息，实现等离子体工艺的可控性。清洗仪等离子体诊断技术分为离位技术和原位技术。离位技术是将等离子体反应器中的等离子体取样引出，如质谱和气相电子顺磁共振。设
