在等离子体处理过程中，铜片蚀刻机器大多数有机聚合物产生亲水含氧官能团，增强了表面能，提高了表面结合强度。-等离子蚀刻机还容易发生表面腐蚀，导致表面粗糙，最终使基片表面积增大，表面形貌发生变化。等离子体频率会影响治疗效果。一般来说，高频比微波和无线电波更有效。在O2等离子体处理过程中，聚合物膜很快产生
