小型等离子体蚀刻机产生等离子体清洗装置,在密闭容器中设置两个电极形成电场,然后达到一定程度的真空,随着气体变得越来越薄,分子间距和自由运动的分子或离子之间的距离也越来越长,在电场的作用下，附着力对薄膜的作用碰撞形成等离子体，产生辉光放电。辉光放电压力、放电功率、气体成分、流速和材料类型对材料的刻蚀效
