SO3H 等这些官能团可以用聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、铁氟龙等完全惰性的基材作为官能团材料，铁氟龙等离子清洁设备具有表面极性、润湿性等。附着力和响应性大大提升了应用的价值。与氧等离子体不同，含氟气体的低温等离子体处理可以将氟原子引入基板表面，使基板具有疏水性。以上是等离子清洗机中常用的气体及其用途。
