单个丝状放电由表面微放电或放电带组成。辉光的形成需要氮、氦等稀有气体，金属镀层附着力检验标准它们能产生亚稳态粒子。另一种类型的电极结构是放电发生在与金属电极直接接触的两个介电材料层之间。采用双层放电结构，避免等离子体与金属电极直接接触，使等离子体更均匀，放电丝更细。适用于腐蚀性气体分离和高纯等离子体
