, 且设备性价比高； 3. 腔体容量：40-2000升； 反应室结构定制 4. 等离子清洗工艺所用气体：氩气（AR）/氮气（N2）/压缩空气（CDA））/CF4 /etc; 连接客户的管道进行自动化。除四氟化碳（CF4）外，金属表面改性方法6种等离子清洗机常用的工作气体还有氢气（H2）、氮气（N2）
