电子温度远高于离子温度，喷漆附着力试验离子温度与室温相当。真空金属的电离率较低。因此，低温等离子体是一种非热平衡等离子体，低温等离子体中存在大量活性粒子，比普通化学反应产生的活性更强，容易与牛接触材料表面发生反应，因此用于材料表面改性。。真空等离子体清洗机改善材料表面性能的机理研究；真空等离子体清洗
