射频等离子发生器 等离子内生团簇的相对谱线强度可以反映气体解离的程度，pcb板焊盘附着力也是影响金刚石沉积速度和质量的重要因素。上基板台用作微波电磁场的尖端。其他粒子碰撞并且等离子体密度增加。高H射线强度表明等离子体在双衬底结构下可以产生更高浓度的H自由基，从而蚀刻SPC和石墨等非金刚石相，从而提高
