等离子体在电磁场中在空间中运动，氟材料plasma蚀刻机器撞击待处理物体的表面，达到表面处理、清洗、蚀刻的效果。与使用有机化学溶剂的传统湿法工艺相比与等离子清洗相比，等离子清洗具有以下优点： 1.等离子清洗后的等离子清洗物被干燥，无需进一步干燥即可送至下道工序。可以提高整个工艺线的加工效率。 2.无
