等离子体中除了存在着大量的气体分子、电子和离子外，还存在大量受激发的中性原子、原子团自由基及等离子体射出的光线。等离子清洗机是利用离子、电子、受激原子、自由基及其射出的光线与被清洗表面的污染物分子分别发生活化反应而最终将金属表面污染物清除的过程。电子在金属表面清洗过程中的作用在等离子体中，电子与原子
