在电容耦合高频等离子体源的情况下，SMT等离子清洁机保持在平行电极之间的等离子体主要被高频电场加热。大多数电容耦合射频等离子体反应器是非磁化的，工作频率为 1 至 100 MHz，与电子等离子体反应器（即 & OMEGA;
