型腔材料的选择 常见的型腔材料有石英型腔、不锈钢型腔和铝合金型腔，金属等离子体蚀刻机器各有其优点。石英腔体较冷且抗反应。铝合金型腔的优点： 1.铝合金密度低，强度高，优于优质钢，具有更好的机械加工性能。 2、铝具有优良的导电性、导热性和耐腐蚀性。 3、是一种与化学反应相容性好，不易产生金属污染和颗粒
