对于形状复杂的衬底，金属件表面处理方法如表面有小的有效沟槽或螺纹，在复杂形状附近等离子体参数的分布会有所不同，导致其周围电场发生变化，进而改变该区域的离子浓度和离子轰击能量。如果采用常规等离子体渗氮，鞘层中的离子碰撞会更加频繁，导致离子的能量下降（低），因此难以激发（活化）氧化物较多的金属表面，如不
