例如，等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 作者低质量、快速移动的电子可以首先到达材料表面并带负电，同时在材料表面产生碰撞效应，促进气体的解吸或分解。分子也吸附到表面并帮助引发化学反应。当材料表面带负电时，带正电的离子会加速并撞击，由此产生的溅射会去除粘附在表面的颗粒物质。等离子体中自由基的
