作为一个重要的参数，蚀刻设备工程师和光刻设备工程师您必须考虑距离、速度和重复处理(需要多次处理)。等离子体设备射流/活性气体射流是非潜在的吗?是的，等离子体设备的活跃气体射流没有或几乎没有潜力。因此，等离子清洗机通常用于清洗电器部件。也可用于处理不导电材料。。等离子体蚀刻对逻辑集成电路成品率的影响:
